Сайты ТУСУРа
Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что  Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в  настройках своего браузера. Подробнее
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам услуги, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (Сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервиса Яндекс.Метрика)

Parameters and properties of a pulsed planar vacuum magnetron discharge

Статья в журнале

We have developed a vacuum (gasless) magnetron discharge initiated by a vacuum arc plasma. The discharge operating conditions for different magnetron target materials have been determined. The mass-to-charge plasma composition and its evolution during a discharge current pulse were measured. It is shown that, after transient processes of cathode outgassing and purification, the plasma ion component consists mainly of singly-charged ions of the magnetron target material. The measured total ion current from the vacuum magnetron discharge plasma is up to 7.5% of the discharge current.

Журнал:

  • Vacuum
  • Elsevier Ltd (Oxford)
  • Индексируется в Scopus, Web of Science

Библиографическая запись: Parameters and properties of a pulsed planar vacuum magnetron discharge / A. V. Vizir [et. al.] // Vacuum. - 2020. - Vol. 178. - P. 109400. - DOI: 10.1016/j.vacuum.2020.109400

Индексируется в:

Год издания:  2020
Страницы:  109400 - 5
Язык:  Английский
DOI:  10.1016/j.vacuum.2020.109400