Электрическая формовка и пробой тонкопленочных структур металл–диэлектрик–металл
Статья в журнале
На основании анализа экспериментальных и расчетных данных по процессам пробоя и формовки тонкопленочных диэлектриков установлены общие закономерности физических процессов и различия возникновения пробоя и электрической формовки тонкопленочных диэлектриков в структуре металл–диэлектрик–металл.
Журнал:
- Доклады ТУСУР
- Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Библиографическая запись: Троян, П. Е. Электрическая формовка и пробой тонкопленочных структур металл–диэлектрик–металл / П. Е. Троян, В. В. Каранский // Доклады ТУСУР. – 2017. – Т. 20, № 3. – С. 152–154. – DOI: 10.21293/1818-0442-2017-20-3-152-154
Индексируется в:
Год издания:
2017
Страницы:
152
-
154
Язык:
Русский
DOI:
10.21293/1818-0442-2017-20-3-152-154