О возможности прецизионной электронно-лучевой обработки протяженных диэлектрических изделий плазменным источником электронов в форвакууме

Статья в журнале

Представлены результаты исследований особенностей процессов отклонения и развертки сфокусированного электронного пучка, генерируемого плазменным источником электронов в области повышенных давлений форвакуумного диапазона. Показано, что во всех исследуемых диапазонах давлений и расстояний от отклоняющей системы в пределах угла отклонения электронного пучка в 20 градусов плотность мощности пучка снижается лишь на 20 %. На примере фрезеровки кварцевого стекла продемонстрирована возможность эффективной прецизионной электронно-лучевой обработки диэлектриков.

Журнал:

• Прикладная физика
• Акционерное общество "НПО "Орион" (Москва)

Библиографическая запись: О возможности прецизионной электронно-лучевой обработки протяженных диэлектрических изделий плазменным источником электронов в форвакууме / И. Ю. Бакеев [и др.] // Прикладная физика. – 2017. – № 3. – С. 26–30.

Индексируется в:

• ВАК ( https://elibrary.ru/item.asp?id=29426671 )
• РИНЦ ( https://elibrary.ru/item.asp?id=29426671 )