О возможности прецизионной электронно-лучевой обработки протяженных диэлектрических изделий плазменным источником электронов в форвакууме
Статья в журнале
Представлены результаты исследований особенностей процессов отклонения и развертки сфокусированного электронного пучка, генерируемого плазменным источником электронов в области повышенных давлений форвакуумного диапазона. Показано, что во всех исследуемых диапазонах давлений и расстояний от отклоняющей системы в пределах угла отклонения электронного пучка в 20 градусов плотность мощности пучка снижается лишь на 20 %. На примере фрезеровки кварцевого стекла продемонстрирована возможность эффективной прецизионной электронно-лучевой обработки диэлектриков.
Журнал:
- Прикладная физика
- Акционерное общество "НПО "Орион" (Москва)
Библиографическая запись: О возможности прецизионной электронно-лучевой обработки протяженных диэлектрических изделий плазменным источником электронов в форвакууме / И. Ю. Бакеев [и др.] // Прикладная физика. – 2017. – № 3. – С. 26–30.
Ключевые слова:
ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ ОСТРОСФОКУСИРОВАННЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ ПУЧОК ФОРВАКУУМНЫЙ ДИАПАЗОН ДАВЛЕНИЙ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКАИндексируется в: