Электронно-лучевое испарение бора для ионно-плазменного синтеза покрытий в форвакуумной области давлений

Статья в журнале

Показана возможность получения ионов бора в плазме, создаваемой электронным пучком форвакуумного плазменного источника. Генерация ионов бора осуществлялась в результате электронно-лучевого испарении бора с последующей ионизацией атомов бора этим же пучком ускоренных электронов. Приведены результаты измерения состава пучковой плазмы, полученные с применением модифицированного квадрупольного масс-спектрометра RGA–100. Масс-спектры ионов плазмы при испарении бора демонстрируют появление однозарядных ионов бора, доля которых росла с увеличением плотности мощности пучка. Элементный состав покрытия, осажденного на титановую подложку, показывает присутствие доли атомов бора порядка 30—35 % ат. Постоянство элементного состава покрытия по его толщине свидетельствует о стабильности и равномерности процесса его нанесения. Фотография поверхности титанового образца с осажденным покрытием демонстрирует наличие гладкого сплошного поликристаллического слоя с плоской поверхностью. Результаты свидетельствует об успешном применении форвакуумного электронного источника для испарения бора и осаждения однородного борсодержащего покрытия.

Журнал:

• Прикладная физика
• АО "НПО "Орион" (Москва)
• Индексируется в Scopus

Библиографическая запись: Электронно-лучевое испарение бора для ионно-плазменного синтеза покрытий в форвакуумной области давлений / Ю. Г. Юшков [и др.] // Прикладная физика. – 2016. – №4. – С. 54-57.

Индексируется в:

• Scopus ( https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-84995549515&origin=resultslist&sort=plf-f&src=s&st1=tyunkov&st2=&sid=3e435f9efee1ed9886eb7a3d0087e086&sot=b&sdt=b&sl=20&s=AUTHOR-NAME%28tyunkov%29&relpos=8&citeCnt=0&searchTerm= )
• РИНЦ ( https://elibrary.ru/item.asp?id=26694800 )
• ВАК ( https://elibrary.ru/item.asp?id=26694800 )