Электронно-лучевое испарение бора для ионно-плазменного синтеза покрытий в форвакуумной области давлений

Статья в журнале

Показана возможность получения ионов бора в плазме, создаваемой электронным пучком форвакуумного плазменного источника. Генерация ионов бора осуществлялась в результате электронно-лучевого испарении бора с последующей ионизацией атомов бора этим же пучком ускоренных электронов. Приведены результаты измерения состава пучковой плазмы, полученные с применением модифицированного квадрупольного масс-спектрометра RGA–100. Масс-спектры ионов плазмы при испарении бора демонстрируют появление однозарядных ионов бора, доля которых росла с увеличением плотности мощности пучка. Элементный состав покрытия, осажденного на титановую подложку, показывает присутствие доли атомов бора порядка 30—35 % ат. Постоянство элементного состава покрытия по его толщине свидетельствует о стабильности и равномерности процесса его нанесения. Фотография поверхности титанового образца с осажденным покрытием демонстрирует наличие гладкого сплошного поликристаллического слоя с плоской поверхностью. Результаты свидетельствует об успешном применении форвакуумного электронного источника для испарения бора и осаждения однородного борсодержащего покрытия.

Журнал:

Прикладная физика
АО "НПО "Орион" (Москва)
Индексируется в Scopus

Библиографическая запись: Электронно-лучевое испарение бора для ионно-плазменного синтеза покрытий в форвакуумной области давлений / Ю. Г. Юшков [и др.] // Прикладная физика. – 2016. – №4. – С. 54-57.

Ключевые слова:

ПЛАЗМЕННЫЙ ИСТОЧНИК ЭЛЕКТРОНОВ ФОРВАКУУМНАЯ ОБЛАСТЬ ДАВЛЕНИЙ ИОНЫ БОРА ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЕ ИСПАРЕНИЕ МАСС-ЗАРЯДОВЫЙ СОСТАВ ИОНОВ ПЛАЗМЫ

Индексируется в:

Авторы: Юшков Ю. Г., Тюньков А. В., Золотухин Д. Б., Окс Е. М.

Год издания: 2016

Страницы: 54 - 57

Язык: Русский

DOI: нет