Сайты ТУСУРа
Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что  Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в  настройках своего браузера. Подробнее
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам услуги, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (Сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервиса Яндекс.Метрика)

Реализация схемы контроля процесса химико-механической планаризации на основе виртуальной метрологии

Статья в журнале

Исследованы методы реализации технологии виртуальной метрологии для технологического процесса химико-механической планаризации, применяемого при производстве микроэлектроники и микросистемной техники. Проведен анализ данных с датчиков оборудования химико-механической планаризации, а также экстракция дополнительных признаков для повышения предсказательной способности моделей. Разработаны модели на основе методов машинного обучения, позволяющие предсказывать значения средней скорости удаления материала полируемого слоя по данным с датчиков установки химико-механической планаризации.

Журнал:

  • Нано- и микросистемная техника
  • Издательство "Новые технологии" (Москва)

Библиографическая запись: Реализация схемы контроля процесса химико-механической планаризации на основе виртуальной метрологии / А. А. Попов [и др.] // Нано- и микросистемная техника. – 2018. – Т. 20. – №12. – С. 727–737. – DOI: 10.17587/nmst.20.727-738.

Индексируется в:

Год издания:  2018
Страницы:  727 - 737
Язык:  Русский
DOI:  10.17587/nmst.20.727-738