Реализация схемы контроля процесса химико-механической планаризации на основе виртуальной метрологии
Статья в журнале
Исследованы методы реализации технологии виртуальной метрологии для технологического процесса химико-механической планаризации, применяемого при производстве микроэлектроники и микросистемной техники. Проведен анализ данных с датчиков оборудования химико-механической планаризации, а также экстракция дополнительных признаков для повышения предсказательной способности моделей. Разработаны модели на основе методов машинного обучения, позволяющие предсказывать значения средней скорости удаления материала полируемого слоя по данным с датчиков установки химико-механической планаризации.
Журнал:
- Нано- и микросистемная техника
- Издательство "Новые технологии" (Москва)
Библиографическая запись: Реализация схемы контроля процесса химико-механической планаризации на основе виртуальной метрологии / А. А. Попов [и др.] // Нано- и микросистемная техника. – 2018. – Т. 20. – №12. – С. 727–737. – DOI: 10.17587/nmst.20.727-738.
Ключевые слова:
ВИРТУАЛЬНАЯ МЕТРОЛОГИЯ МАШИННОЕ ОБУЧЕНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЕ ПРОИЗВОДСТВО ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКАЯ ПЛАНАРИЗАЦИЯ КОНТРОЛЬ ТЕХПРОЦЕССОВ ПРЕДСКАЗАТЕЛЬНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ИСКУССТВЕННЫЕ НЕЙРОННЫЕ СЕТИ ЛИНЕЙНАЯ РЕГРЕССИЯ КОНТРОЛЬ ПОДЛОЖЕК МЕТОД ОПОРНЫХ ВЕКТОРОВИндексируется в: