Коммерциализация методики определения элементного состава примесей на поверхности твердого тела с использование ядерных реакций
Статья в журнале
Описывается процесс коммерциализации методики определения элементного состава примесей на поверхности твердого тела с использованием ядерных реакций для контроля поверхности полупроводниковых тел. Целью данной работы являлось внедрение описываемой методики на предприятие полупроводниковой промышленности.
Журнал:
- vectoreconomy
- Электронный научный журнал "Вектор экономики" (Пермь)
- Индексируется в Web of Science
Библиографическая запись: Молчанов, А. С. Коммерциализация методики определения элементного состава примесей на поверхности твердого тела с использование ядерных реакций: [Электронный ресурс] / А. С. Молчанов // Вектор экономики. – 2019. – №6. – С. 1-10.
Ключевые слова:
ХАРАКТЕРИСТИЧЕСКОЕ РЕНТГЕНОВСКОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ ЯДЕРНЫЕ РЕАКЦИИ КОММЕРЦИАЛИЗАЦИЯ ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ КОНТРОЛЬ ПОВЕРХНОСТИ.