Применение форвакуумных плазменных источников электронов для обработки диэлектриков

Монография

Представлены новые возможности электронно-лучевой технологии, а именно применение электронного пучка для непосредственной обработки непроводящих материалов – диэлектриков. Рассмотрены процессы электронно-лучевой сварки, спекания, модификации и стерилизации поверхности, плавления, изготовления отверстий. Основное внимание уделено различным сортам керамик на основе оксидов алюминия, циркония, карбида кремния, а также полимерам. Для разработчиков источников электронов, электронно-лучевых технологических установок, а также специалистов, использующих электронные пучки в решении прикладных задач. Полезна студентам и аспирантам высших учебных заведений, специализирующимся в областях вакуумной и плазменной электроники, разработки электронно-лучевого оборудования.

Библиографическая запись: Применение форвакуумных плазменных источников электронов для обработки диэлектриков : монография / А.С. Климов [и др.]. – Томск: Изд-во Томск. гос. ун-та систем упр. и радиоэлектроники, 2017. – 186 с. – ISBN 978-5-86889-773-3

Издательство:

Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники (Томск)