Способ изготовления диода с вискером терагерцового диапазона
патент на изобретение
Правообладатель: Акционерное общество "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов"
Номер и дата приоритета: 2016102531, 26 января 2016
Номер патента/свидетельства и дата регистрации: 2635853, 16 октября 2017
Ключевые слова:
ПЛАНАРНЫЙ ДИОД, ВОЗДУШНЫЕ ВЫВОДЫ, ВИСКЕР, ТЕРАГЕРЦЫ
Автор:
Торхов Н. А.