Установка локального ионного травления диэлектрических поверхностей
патент на полезную модель
Правообладатель: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники"
Номер и дата приоритета: 2016142843, 31 октября 2016
Номер патента/свидетельства и дата регистрации: 170626, 03 мая 2017