28.03.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника (Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике) План в архиве
Очная форма обучения, план набора 2013 г.
Изучается: 7, 8 семестр
Цикл дисциплины: Б1. Дисциплины (модули)
Индекс дисциплины: Б1.Б.19
Обеспечивающая кафедра: Кафедра физической электроники
Рабочая программа
Основная литература
К.И.Смирнова. Процессы микро- и нанотехнологии. Учебное пособие – Томск: ТУСУР, 2007. – 183 с.
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Дополнительная литература
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Феде-ральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск: ТУСУР, 2005. - 316 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 310-313. - ISBN 5-86889-244-5
Доступно в библиотеке:
103
экземляра
Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность: Учебное пособие для вузов / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высшая школа, 1986. - 464 с.
Доступно в библиотеке:
52
экземляра
Технология микроэлектронных устройств: Справочник / З. Ю. Готра. - М.: Радио и связь, 1991. - 528 с.
Доступно в библиотеке:
45
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Данилина Т.И., Сахаров Ю.В. Технология тонкопленочных микросхем : Методические указания по выполнению лабораторных работ. – Томск: ТУСУР, 2007. – 63 с.
Доступно в библиотеке:
30
экземпляров
Методы исследования материалов и структур электроники : лабораторный практикум для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / С. В. Смирнов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 58 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 53 с.
Доступно в библиотеке:
47
экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 21 с.
Доступно в библиотеке:
30
экземпляров
Контрольные испытания
| Вид контроля | Семестры |
|---|---|
| Экзамен | 7 |
| Курсовое проектирование | 8 |
Объем дисциплины и виды учебной деятельности
| Вид учебной деятельности | 1 семестр | 2 семестр | 3 семестр | 4 семестр | 5 семестр | 6 семестр | 7 семестр | 8 семестр | Всего | Единицы |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Лекция | 28 | 28 | часов | |||||||
| Практическая работа | 18 | 18 | часов | |||||||
| Лабораторная работа | 16 | 16 | часов | |||||||
| Курсовая работа (проект) | 20 | 20 | часов | |||||||
| Всего аудиторных занятий | 62 | 20 | 82 | часов | ||||||
| Из них в интерактивной форме | 14 | 14 | часов | |||||||
| Самостоятельная работа | 46 | 88 | 134 | часов | ||||||
| Всего (без экзамена) | 108 | 108 | 216 | часов | ||||||
| Подготовка и сдача экзамена/зачета | 36 | 36 | часов | |||||||
| Общая трудоемкость | 144 | 108 | 252 | часов | ||||||
| 4 | 3 | 7 | З.Е |
Компетенции
| Код | Содержание |
|---|---|
| ПК-8 | готовностью использовать базовые технологические процессы и оборудование, применяемые в производстве материалов, компонентов нано- и микросистемной техники |
| ПСК-2 | готовностью к применению современных технологических процессов и технологического оборудования на этапах разработки и производства изделий микро- и наноэлектроники, твердотельной электроники и микросистемной техники |