Учебное пособие
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
4 Основы технологии изготовления оптических материалов и изделий
4.1 Пленочная технология
4.2 Процесс эпитаксии в технологии изготовления элементов фотоники
4.3 Литография
5 Основы автоматизации процессов производства оптических материалов и изделий
5.1 Общая схема регулирования технологического процесса
5.2 Моделирование производственных процессов
5.3 Задающие устройства и первичные системы управления
5.4 Порядки и типы управляющих систем технологического оборудования
5.5 Типичные законы управления типа П, ПИ, ПИД
5.6 Многоуровневые системы децентрализованного управления
5.7 Программное обеспечение технологических процессов
5.8 Пневмоавтоматика
5.9 Числовое программное управление
5.10 Автоматизация технологических процессов с помощью ЧПУ
5.11 Языки программирования технологического оборудования
5.12 Язык релейно-контактных символов
5.13 Язык Булевых уравнений
5.14 Языки типа "Время-команда", "Время-параметр"
5.15 Язык управления типа КАУТ
5.16 Язык типа КАУТ
5.17 Система управления "САМАС" ("КАМАК")
5.18 Подсистема управления газовыми потоками
5.19 Язык программирования измерительной аппаратуры SCPI
5.20 Робототехника
5.21 Системы «КАМАК» и «АРМ» для автоматического регулирования технологических процессов
6 Эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования. Сертификация и инструкции по эксплуатации
6.1 Децентрализованные системы обеспечения работоспособности вакуумной установки
6.2 Сертификация и номенклатура оборудования
6.3 Правила устройства электроустановок при проектировании новых производств
6.4 Профилактика
6.5 Сервисное обслуживание
6.6 Технология расшифровки процесса молекулярно-лучевой эпитаксии91
6.7 Классификация причин отказов
6.8 Инструкции по поиску негерметичности вакуумных систем
6.9 Инструкции по эксплуатации типовых вакуумных установок с масляными средствами откачки
6.10 Аварийные режимы вакуумного оборудования и методы реанимации режимов
Список литературы