Исследование состава остаточной атмосферы в отпаянном приборе с помощью омегатронного масс-спектрометра

Целью данной работы является ознакомление с принципом работы омегатронного измерителя парциальных давлений, освоение методики определения состава и парциальных давлений остаточных газов в условиях вакуума. Предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Фотоника и оптоэлектроника» по курсу «Технология приборов оптической электроники и фотоники» и по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства») по курсу «Технология материалов и изделий электронной техники».