Методические указания к лабораторной работе
Целью данной работы является ознакомление с принципом работы омегатронного измерителя парциальных давлений, освоение методики определения состава и парциальных давлений остаточных газов в условиях вакуума. Предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по
направлению «Фотоника и оптоэлектроника» по курсу «Технология приборов оптической электроники и фотоники» и по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства») по курсу «Технология материалов и изделий электронной техники».
Библиографическая запись:
Орликов, Л. Н. Исследование состава остаточной атмосферы в отпаянном приборе с помощью омегатронного масс-спектрометра: Методические указания к лабораторной работе [Электронный ресурс] / Л. Н. Орликов. — Томск: ТУСУР, 2012. — 20 с. — Режим доступа: https://edu.tusur.ru/publications/1376
Оглавление (содержание)
Введение
Теоретическая часть
2.1 Основные параметры газоанализаторов
2.2. Масс-спектр и его расшифровка
2.3 Омегатронный масс-спектрометр
2.4 Контрольные вопросы
3 Экспериментальная часть
3.1 Оборудование
3.2 Задание
3.3 Порядок выполнения работы и методические указания
3.4 Содержание отчета
Список литературы
Приложение Спектральные характеристики некоторых газов и паров