Учебно-методическое пособие по самостоятельной работе
Библиографическая запись:
Оглавление (содержание)
Введение
Раздел 1. Физико-химические основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники
1.1 Содержание раздела
1.2 Методические указания по изучению раздела
1.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 2. Кинетические диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах
2.1 Содержание раздела
2.2 Методические указания по изучению раздела
2.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 3. Физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно- лучевой и лазерной технологии
3.1 Содержание раздела
3.2 Методические указания по изучению раздела
3.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 4. Основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники
4.1 Содержание раздела
4.2 Методические указания по изучению раздела
4.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 5. Автоматизация процессов производства электронных приборов и устройств
5.1 Содержание раздела
5.2 Методические указания по изучению раздела
5.3 Вопросы для самопроверки
Раздел 6. Эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования
6.1 Содержание раздела
6.2 Методические указания по изучению раздела
7 Лабораторные работы
8 Практические занятия
8.1 Общие положения
8.2 Тестовые вопросы для подготовки к практическим занятиям
9 Курсовое проектирование
10 Темы для самостоятельного изучения
Список литературы