Разработка программного обеспечения для выполнения автоматизированных зондовых измерений СВЧ-МИС
Статья в сборнике трудов конференции
В данной статье представлено описание результатов разработки программно-аппаратного комплекса предназначенного для проведения автоматизированных зондовых измерений СВЧ монолитных интегральных схем на неразделенных полупроводниковых пластинах.
Библиографическая запись: Аргунов, Д. П. Разработка программного обеспечения для выполнения автоматизированных зондовых измерений СВЧ-МИС / Д. П. Аргунов // Сборник избранных статей научной сессии ТУСУР (Томск, 16-18 мая 2018 г.): В 3 частях. – Ч. 3. - Томск: В-Спектр, 2018. – С. 171–174.
Ключевые слова:
АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ ЗОНДОВЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ МИС ВЫХОДНОЙ КОНТРОЛЬ МЕЖОПЕРАЦИОННЫЙ КОНТРОЛЬ ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕКонференция:
- Международная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Научная сессия ТУСУР–2018»
- Россия, Томская область, Томск, 16-18 мая 2018,
- Международная
Издательство:
В-Спектр
Россия, Томская область, Томск