Сайты ТУСУРа

Обзор применений виртуальной метрологии в полупроводниковом производстве

Статья в сборнике трудов конференции

Библиографическая запись: Обзор применений виртуальной метрологии в полупроводниковом производстве : [Электронный ресурс] / А. С. Сальников [и др.] // Интеллектуальные системы 4-й промышленной революции : сборник материалов III Международного форума (Томск, 26-27 ноября 2019 г.). – Томск : Общество с ограниченной ответственностью "СТТ", 2020. – С. 107-110.

Ключевые слова:

ВИРТУАЛЬНАЯ МЕТРОЛОГИЯ

Конференция:

  • Интеллектуальные системы 4-й промышленной революции
  • Russia, Томская область, Томск, 26-27 ноября 2019,
  • Международная

Издательство:

Общество с ограниченной ответственностью "СТТ"

Russia, Томская область, Томск

Год издания:  2020
Страницы:  107 - 110
Язык:  Русский
Индексируется в РИНЦ