Обзор применений виртуальной метрологии в полупроводниковом производстве
Статья в сборнике трудов конференции
–
Библиографическая запись: Обзор применений виртуальной метрологии в полупроводниковом производстве : [Электронный ресурс] / А. С. Сальников [и др.] // Интеллектуальные системы 4-й промышленной революции : сборник материалов III Международного форума (Томск, 26-27 ноября 2019 г.). – Томск : Общество с ограниченной ответственностью "СТТ", 2020. – С. 107-110.
Ключевые слова:
ВИРТУАЛЬНАЯ МЕТРОЛОГИЯКонференция:
- Интеллектуальные системы 4-й промышленной революции
- Russia, Томская область, Томск, 26-27 ноября 2019,
- Международная
Издательство:
Общество с ограниченной ответственностью "СТТ"
Russia, Томская область, Томск