Резистивное профилирование как метод исследования гетероструктур с КЯ

Статья в сборнике трудов конференции

Приводятся результаты экспериментальных исследований профилирования гетероструктур с множественными квантовыми ямами, выполненных по методу емкостного и резистивного профилирования. Показано, что профили, полученные резистивным профилированием, не уступают в информативности профилям емкостного профилирования.

Библиографическая запись: Давыдов, В. Н. Резистивное профилирование как метод исследования гетероструктур с КЯ [Электронный ресурс] / В. Н. Давыдов, О. Ф. Задорожный // Электронные средства и системы управления : материалы докладов XVI Международной научно-практической конференции (Томск, 18-20 ноября 2020 г.) : в 2 ч. – Томск : В-Спектр, 2020. – Ч. 1. – С. 96-98.

Конференция:

• Электронные средства и системы управления
• Russia, Томская область, Tomsk, 18-20 ноября 2020,
• Международная

Издательство:

В-Спектр

Russia, Томская область, Tomsk