Алгоритм автоматизированного визуального контроля при производстве МИС СВЧ с использованием искусственных нейронных сетей
Статья в сборнике трудов конференции
Визуальный контроль при производстве СВЧ МИС заключается в контроле качества изготавливаемых устройств по их внешнему виду. Современные масштабы выпуска МИС и полупроводниковых приборов настолько огромны, что визуальный контроль отнимает большое количество времени и требует значительных усилий со стороны контролирующего оператора. Автоматизация визуального контроля с использованием искусственных нейронных сетей позволяет повысить скорость и качество детектирования дефектов с сохранением интеллектуального уровня распознавания дефектов.
Библиографическая запись: Ширяев, Б. В. Алгоритм автоматизированного визуального контроля при производстве МИС СВЧ с использованием искусственных нейронных сетей [Электронный ресурс] / Б. В. Ширяев // Новые информационные технологии в исследовании сложных структур: Материалы Двенадцатой конференции с международным участием. - Томск: НИ ТГУ, 2018. - С. 102-103.
Конференция:
- Новые информационные технологии в исследовании сложных структур
- Россия, Алтайский край, Катунь, 4-08 июня 2018,
- Международная
Издательство:
Национальный исследовательский Томский государственный университет
Россия, Томская область, Томск