Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов
Статья в сборнике трудов конференции
Возможности и принципы использования метода опорных векторов для моделирования процесса плазмо-химического травления.
Библиографическая запись: Поведенческая модель плазменного травления на основе метода опорных векторов [Электронный ресурс] / А. А. Попов [и др.] // Физика. Технологии. Инновации (ФТИ-2017): Тезисы докладов IV Международной молодежной научной конференции (15-19 мая 2017 г., Екатеринбург). - Екатеринбург: УрФУ, 2017. - С. 24-26.
Конференция:
- Физика. Технологии. Инновации. ФТИ-2017
- Россия, Свердловская область, Екатеринбург, 15-19 мая 2017,
- Международная
Издательство:
УрФУ
Россия, Свердловская область, Екатеринбург