Изучение подходов к построению поведенческих моделей технологического процесса

Статья в сборнике трудов конференции

Любой технологический процесс в полупроводниковом производстве характеризуется значительной сложностью. Для качественного осуществления технологических операций требуется строгий контроль факторов, число которых измеряется десятками. Для решения данной проблемы были разработаны методы виртуальной метрологии (Virtual Metrology), позволяющие предсказывать результаты проведения технологической операции на основе данных, получаемых при контроле технологического процесса (параметры технологического режима, данные с датчиков установки).

Библиографическая запись: Изучение подходов к построению поведенческих моделей технологического процесса / А. А. Попов [и др.] // Научная сессия ТУСУР–2017: Материалы международной научно-технической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, посвященной 55-летию ТУСУРа (Томск, 10–12 мая 2017 г.): В восьми частях. – Ч. 2. – Томск: В-Спектр, 2017. – С. 140-142.

Конференция:

• Международная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Научная сессия ТУСУР–2017», посвященная 55-летию ТУСУРа
• Россия, Томская область, Томск, 10-12 мая 2017,
• Международная

Издательство:

В-Спектр

Россия, Томская область, Томск