Визуальный анализ данных технологического процесса химико-механической планаризации для построения поведенческой модели
Статья в сборнике трудов конференции
-
Библиографическая запись: Визуальный анализ данных технологического процесса химико-механической планаризации для построения поведенческой модели [Электронный ресурс] / А. А. Попов, Д.В. Билевич, Т.Ю. Сидорюк // Научная сессия ТУСУР–2018: Сборник избранных статей (Томск, 16–18 мая 2018 г.): В трех частях. – Ч. 2. – Томск: В-Спектр, 2018. – С. 144-147.
Конференция:
- Международная научно-техническая конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Научная сессия ТУСУР–2018»
- Россия, Томская область, Томск, 16-18 мая 2018,
- Международная
Издательство:
В-Спектр
Россия, Томская область, Томск