Результаты научной деятельности
Применение двойной фокусирующей катушки для получения остросфокусированного пучка электронов в диапазоне давлений 10-30 ПА
Статья в сборнике трудов конференции
Прогрессивные технологии и процессы
2017
Опубликовано
около 6 лет назад