Результаты научной деятельности
Плазмохимическое травление InP/InGaAs гетероструктуры в индуктивно связанной плазме Cl 2 /Ar/N 2 для формирования оптических волноводных структур
Статья в журнале
Доклады ТУСУР
2018
Опубликовано
почти 5 лет назад