Результаты научной деятельности
Low temperature ICP etching of InP/InGaAsP heterostructure in Cl2-based plasma
Статья в журнале
Journal of Physics: Conference Series
2019
Опубликовано
почти 5 лет назад
The Method of Low Temperature ICP Etching InP/InGaAsP Heterostructure in Cl2-based Plasma for Integrated Optics Applications
Статья в журнале
Micromachines
2021
Опубликовано
почти 2 года назад