Top.Mail.Ru
Научно-образовательный портал ТУСУР
Сайты ТУСУРа

Результаты научной деятельности

Low temperature ICP etching of InP/InGaAsP heterostructure in Cl2-based plasma

Статья в журнале
Journal of Physics: Conference Series
2019 Опубликовано почти 7 лет назад