Выпускная квалификационная работа Кадырова Алексея
Название: Исследование механизма деградации поверхности нанокомпозитных покрытий Al-Si-N при термическом отжиге
Тип: Диссертация
Год защиты: 2016
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника, Твердотельная электроника