Выпускная квалификационная работа Миронова Юрия Алексеевича
Название: Разработка технологии получения медных покрытий с помощью магнетронной распылительной системы
Тип: Бакалаврская работа
Год защиты: 2016
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника, Микроэлектроника и твердотельная электроника