Выпускная квалификационная работа Перминова Антона Андреевича
Название: Распределение примесных ионов в поверхностных слоях диэлектриков, модифицированных ионными пучками
Тип: Бакалаврская работа
Год защиты: 2016
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника, Микроэлектроника и твердотельная электроника