Выпускная квалификационная работа Шабалина Алексея Сергеевича
Название: Разработка технологии изготовления КМОП интегральных схем с мелкозалегающими p-n-переходами
Тип: Бакалаврская работа
Год защиты: 2016
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника, Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике