Выпускная квалификационная работа Гапоновой Юлии Сергеевны
Название: Получение пленок SixNy методом стимулированного плазмохимического осаждения
Тип: Бакалаврская работа
Год защиты: 2017
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника, Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике