Выпускная квалификационная работа Цветковой Анастасии Андреевны
Название: ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ТЕРМООБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ И СВОЙСТВА ПОЗИТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ
Тип: Бакалаврская работа
Год защиты: 2018
Руководитель: Чистоедова И.А.
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника, Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике