Выпускная квалификационная работа Зарецкой Анастасии Николаевны
Название: Разработка технологии изготовления МИС СВЧ с использованием методов оптической литографии и термического оплавления фоторезистов
Тип: Диссертация
Год защиты: 2017
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника, Твердотельная электроника