Выпускная квалификационная работа Метеля Александра Андреевича
Название: ТРАВЛЕНИЕ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ В АРГОН-ВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА
Тип: Бакалаврская работа
Год защиты: 2020
Руководитель: Чистоедова И.А.
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника, Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике