Выпускная квалификационная работа Ручкина Сергея Евгеньевича

Название: ТРАВЛЕНИЕ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ В АРГОН-ВОДОРОДНОЙ ПЛАЗМЕ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО РАЗРЯДА

Тип: Бакалаврская работа

Год защиты: 2020

Руководитель: Чистоедова И.А.

Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)

Образовательная программа: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника, Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике