Выпускная квалификационная работа Миллера Юрия Александровича
Название: ФОРМИРОВАНИЕ Т-ОБРАЗНОГО ЗАТВОРА С ВЫСОКИМ АСПЕКТНЫМ СООТНОШЕНИЕМ МЕТОДОМ УГЛОВОГО НАПЫЛЕНИЯ
Тип: Бакалаврская работа
Год защиты: 2020
Руководитель: Троян П.Е.
Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)
Образовательная программа: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника, Микроэлектроника и твердотельная электроника