Выпускная квалификационная работа Перепелицына Сергея Игоревича

Название: Формирование заданного профиля в фоторезистивной маске с помощью прямой лазерной литографии

Тип: Магистерская диссертация

Год защиты: 2023

Руководитель: Кулинич И.В., канд.техн.наук, доцент кафедры КУДР

Факультет: Факультет электронной техники (ФЭТ)

Образовательная программа: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника, Твердотельная электроника