Сайты ТУСУРа
Нажимая кнопку «СОГЛАСЕН», Вы подтверждаете то, что  Вы проинформированы об использовании cookies на нашем сайте. Отключить cookies Вы можете в  настройках своего браузера. Подробнее
Для того, чтобы мы могли качественно предоставить Вам услуги, мы используем cookies, которые сохраняются на Вашем компьютере (Сведения о местоположении; ip-адрес; тип, язык, версия ОС и браузера; тип устройства и разрешение его экрана; источник, откуда пришел на сайт пользователь; какие страницы открывает и на какие кнопки нажимает пользователь; эта же информация используется для обработки статистических данных использования сайта посредством интернет-сервиса Яндекс.Метрика)

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур, 2016

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2014 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники


Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2016

Основная литература

Дополнительная литература

Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: ВШ, 1990. - 320 с.
Доступно в библиотеке: 4 экземляра

Вакуумная техника. Справочник. Под ред. Е.С. Фролова, В.Е. Минайчева. - М.: Машиностроение, 1985. - 360 с.
Доступно в библиотеке: 10 экземпляров

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.8.1

Форма обучения: очная

Факультет: ИРЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 2

Семестр: 4

Учебный план набора 2014 года

План в архиве