Сайты ТУСУРа

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур, 2016

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2015 года

Кафедра физической электроники


Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2016

Основная литература

Дополнительная литература

Розанов Л.Н. Вакуумная техника. - М.: ВШ, 1990. - 320 с.
Доступно в библиотеке: 4 экземляра

Вакуумная техника. Справочник. Под ред. Е.С. Фролова, В.Е. Минайчева. - М.: Машиностроение, 1985. - 360 с.
Доступно в библиотеке: 10 экземпляров


Дисциплины

+

Вакуумно-плазменные методы получения наноструктур

Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.4

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс:

Семестр:

Учебный план набора 2015 года