Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2013 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
К.И.Смирнова. Тонкие пленки в микроэлектронике. Учебное пособие. Томск: ТУСУР, 2012.- 110 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Дополнительная литература
Технология тонких пленок. Справочник. Том 1,2. –М.: Сов. радио, Т.1, 1977.- 664 с.
Доступно в библиотеке:
13
экземпляров
Физика тонких пленок. Том 8. Сб. статей под общей редакцией Г. Хасса, М. Франкомба и Р.Гофмана, М.: «Мир», 1978. – 359 с.
Доступно в библиотеке:
5
экземпляров
Технология тонких пленок. Справочник. Том 1,2. –М.: Сов. радио, Т.2, 1977. -768 с. (
Доступно в библиотеке:
14
экземпляров
Г.А.Воробьев, В.А.Мухачев. Пробой тонких диэлектрических пленок. – М.:«Советское радио», 1977.- 70 с.
Доступно в библиотеке:
36
экземпляров
Физика тонких пленок. Том 4. Сб. статей под общей редакцией Г. Хасса и Р.Э.Туна, М.: «Мир», 1970. – 440 с.
Доступно в библиотеке:
7
экземпляров
Электропроводность тонких диэлектрических пленок. – Учебное пособие: Ленинградский политехнический институт им. М.И.Калинина, 1981.- 55 с.
Доступно в библиотеке:
4
экземляра
Б.А.Бочкарев, В.А.Бочкарева. Керметные пленки.:«Энергия», Ленинградское отд., 1975.- 152 с.
Доступно в библиотеке:
2
экземляра
Учебно-методическое пособие
К.И.Смирнова. Тонкие пленки в микроэлектронике. Учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов направления подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Электроника и наноэлектроника».-Томск:ТУСУР, 2013.- 49 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
К.И.Смирнова. Тонкие пленки в микроэлектронике. Учебно-методическое пособие по выполнению курсовой работы для студентов направления подготовки «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Электроника и наноэлектроника».-Томск:ТУСУР, 2013.- 25 с.
Доступно в библиотеке:
30
экземпляров
Дисциплины
Физика пленочных наноструктур
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.6
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 3, 4
Семестр: 6, 7
Учебный план набора 2013 года
План в архиве