Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2015 года
Кафедра физической электроники
Основная литература
Дополнительная литература
Нанотехнологии в электронике: Монография / Н.И. Боргардт и др. ред. Ю.А. Чаплыгин. Московский государственный институт электронной техники. – М.: Техносфера, 2005. – 446 с.
Доступно в библиотеке:
20
экземпляров
Зондовые нанотехнологии в электронике / В.К. Неволин. – М.: Техносфера, 2005. – 147 с.
Доступно в библиотеке:
9
экземпляров
Основы наноэлектроники: Учебное пособие для вузов / В.П. Драгунов, И.Г. Неизвестный, В.А. Гридчин. – 2-е изд., исп. и доп. – Новосибирск: НГТУ, 2004. – 494 [2] с.
Доступно в библиотеке:
20
экземпляров
Аксенов А.И., Окс Е.М., Злобина А.Ф. Вакуумная и плазменная электроника: Учебное пособие. – Томск: ТУСУР, 2007. – 164 с.
Доступно в библиотеке:
101
экземпляр
Дисциплины
Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО 2)
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.5.2
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс:
Семестр:
Учебный план набора 2015 года