Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2015 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Данилина Т.Н., Кагадей В.А., Анищенко Е.В. Технология кремниевой наноэлектроники: учебн. пособие. - Томск, В-Спектр, 2011. - 262 с.
Доступно в библиотеке:
3
экземляра
Дополнительная литература
Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.]; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск: ТУСУР, 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке:
103
экземляра
Данилина Т.И. Технология СБИС. Учебное пособие. -Томск: ТУСУР, 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. - М.: Высшая школа, 1986. - 367 с.
Доступно в библиотеке:
20
экземпляров
Данилина Т.И., Смирнов С.В. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС. Учебное пособие. - Томск: ТУСУР, 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке:
53
экземляра
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Технология кремниевой наноэлектроники
Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Твердотельная электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.1
Форма обучения: очная
Факультет: ИРЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 1
Семестр: 1, 2
Учебный план набора 2015 года
План в архиве