Сайты ТУСУРа

Технология кремниевой наноэлектроники, 2015

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2015 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники


Автор:   Данилина Т. И.
Год издания: 2015

Основная литература

Данилина Т.Н., Кагадей В.А., Анищенко Е.В. Технология кремниевой наноэлектроники: учебн. пособие. - Томск, В-Спектр, 2011. - 262 с.
Доступно в библиотеке: 3 экземляра

Дополнительная литература

Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.]; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск: ТУСУР, 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке: 103 экземляра

Данилина Т.И. Технология СБИС. Учебное пособие. -Томск: ТУСУР, 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке: 50 экземпляров

Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. - М.: Высшая школа, 1986. - 367 с.
Доступно в библиотеке: 20 экземпляров

Данилина Т.И., Смирнов С.В. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС. Учебное пособие. - Томск: ТУСУР, 2000. - 140 с.
Доступно в библиотеке: 53 экземляра

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Технология кремниевой наноэлектроники

Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Твердотельная электроника

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.1

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 1

Семестр: 1, 2

Учебный план набора 2015 года

План в архиве