Технологическое оборудование микро- и нанотехнологий (ГПО 4), 2017

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2016 года

Кафедра физической электроники

Показать еще 1 направление

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2015 года

Кафедра физической электроники

Автор: Каранский В. В.

Год издания: 2017

Основная литература

Чистоедова, И. А. Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: Учебное пособие [Электронный ресурс] / Чистоедова И. А., Данилина Т. И. — Томск: ТУСУР, 2011. — 98 с.

Смирнов, С.В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. [Электронный ресурс] — Электрон. дан. — М.: ТУСУР, 2010. — 115 с.

Дополнительная литература

Кирилловский, В.К. Современные оптические исследования и измерения. [Электронный ресурс] — Электрон. дан. — СПб. : Лань, 2010. — 304 с.

Нанотехнологии в электронике: Монография / Н.И. Боргардт и др. ред. Ю.А. Чаплыгин. Мос-ковский государственный институт электронной техники. – М.: Техносфера, 2005. – 446 с.
Доступно в библиотеке: 20 экземпляров

Брандон Д., Капран У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля: учебное пособие для вузов: пер. с англ.; ред. Пер. С.Л. Баженов, доп. К гл. 3 О.В. Егоров. – М.: Техносфера, 2004. – 377 с.
Доступно в библиотеке: 8 экземпляров

Брандон Д., Капран У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля: Учебное пособие для вузов: Пер. с англ.; ред. Пер.: С.Л, Баженов; авт. Дополнения: О.В. Егорова. – М.: Техносфера, 2006. – 377 с.
Доступно в библиотеке: 5 экземпляров

Дисциплины

Технологическое оборудование микро- и нанотехнологий (ГПО 4)

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике

Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.7.2

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс:

Семестр: