Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2016 года
Кафедра физической электроники
Основная литература
Смирнова К.И. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие. – Томск: ТУСУР, 2007. – 109 с.
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Дополнительная литература
Планирование и обработка результатов эксперимента: Учебное пособие / В. А. Мухачев - Томск: ТУСУР, 2007. - 116 с.
Доступно в библиотеке:
49
экземпляров
Технология тонкопленочных микросхем: учебное пособие / Т. И. Данилина - Томск: ТУСУР, 2007. - 151 с.
Доступно в библиотеке:
12
экземпляров
Дисциплины
Учебно-исследовательская работа в семестре-3
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.6.1
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс:
Семестр:
Учебный план набора 2016 года