Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств
Профиль: Проектирование и технология электронно-вычислительных средств, очная форма обучения, КИБЭВС
Учебный план набора 2013 года (План в архиве)
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга
Основная литература
Чикин Е. В. Физико-химические основы технологии электронных систем: Учебное пособие.- Томск: ТМЦДО, 2006.- 209 с.
Доступно в библиотеке:
65
экземпляров
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 томах / под общей редакцией Ю. Н. Коркишко/ - том 1. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний.
Доступно в библиотеке:
45
экземпляров
Дополнительная литература
Королев М. А. Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. - М.: БИНОМ. Лаборатория знаний. Часть 1, 2010. - 396 с.
Доступно в библиотеке:
10
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Методические указания по самостоятельной работе приведены в учебно-методическом пособии [2]: с.4.
Доступно в библиотеке:
100
экземпляров
Чикин Е. В. Лабораторные работы по химии: учебно-методическое пособие. Томск: ТУСУР, 2012. - 77 с.
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Чикин Е. В. Сборник задач по общей химии: учебно-методическое пособие. Томск: ТУСУР, 2015. - 296 с.
Доступно в библиотеке:
100
экземпляров
Чикин Е. В. Физико-химические основы технологии электронных средств: учебно-методическое пособие. -Томск: ТМЦДО, 2006. -63 с. (к практической работе)
Доступно в библиотеке:
8
экземпляров
Дисциплины
Физико-химические процессы в технологии микро- и наноэлектроники
Направление подготовки (специальность): 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств
Профиль: Проектирование и технология электронно-вычислительных средств
Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.11.2
Форма обучения: очная
Факультет: РКФ
Кафедра: РЭТЭМ
Курс: 2
Семестр: 4
Учебный план набора 2013 года
План в архиве