Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2015 года
Кафедра физической электроники
Основная литература
Дополнительная литература
1. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов: Учебник для вузов / Ю. М. Таиров, В. Ф. Цветков. – 3-е изд., стереотип. – СПб.: Лань, 2002. – 424 с.
Доступно в библиотеке:
212
экземпляров
Дисциплины
Технология материалов микро- и наноэлектроники
Направление подготовки (специальность): 11.03.04 Электроника и наноэлектроника
Профиль: Микроэлектроника и твердотельная электроника
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.5
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс:
Семестр:
Учебный план набора 2015 года