Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Физика пленочных наноструктур, 2018

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ

Учебный план набора 2017 года (План в архиве)

Кафедра физической электроники

Авторы:   Жидик Ю. С. и Мухачев В. А.
Год издания: 2018

Основная литература

Смирнова К.И. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебное пособие. – Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2012. – 109 с.

Дополнительная литература

Антоненко С. В. Технология тонких пленок: Учебное пособие / Антоненко С.В. - М.:НИЯУ "МИФИ", 2008. - 104 с. ISBN 978-5-7262-1036-0

Учебно-методическое пособие

Смирнова К.И. Тонкие пленки в микроэлектронике. Учебно-методическое пособие. – Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2013. – 50 с.

Смирнова К.И. Тонкие пленки в микроэлектронике: Учебно-методическое пособие по выполнению курсовой работы. Томск: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2013. - 21 с.

Дисциплины

+

Физика пленочных наноструктур

Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника

Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике

Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.1

Форма обучения: очная

Факультет: ФЭТ

Кафедра: ФЭ

Курс: 3

Семестр: 5, 6

Учебный план набора 2017 года

План в архиве

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос