Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2014 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Дополнительная литература
1. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов: Учебник для вузов / Ю. М. Таиров, В. Ф. Цветков. – 3-е изд., стереотип. – СПб.: Лань, 2002. – 424 с
Доступно в библиотеке:
212
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Технология материалов микро- и наноэлектроники
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.3
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 3
Семестр: 5
Учебный план набора 2014 года
План в архиве