Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2014 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Аксенов А.И., Окс Е.М., Злобина А.Ф. Вакуумная и плазменная электроника: Учебное пособие. – Томск: ТУСУР, 2007. – 164 с.
Доступно в библиотеке:
101
экземпляр
Дополнительная литература
Основы наноэлектроники: Учебное пособие для вузов / В.П. Драгунов, И.Г. Неизвестный, В.А. Гридчин. – 2-е изд., исп. и доп. – Новосибирск: НГТУ, 2004. – 494 [2] с.
Доступно в библиотеке:
20
экземпляров
Нанотехнологии в электронике: Монография / Н.И. Боргардт и др. ред. Ю.А. Чаплыгин. Мос-ковский государственный институт электронной техники. – М.: Техносфера, 2005. – 446 с.
Доступно в библиотеке:
20
экземпляров
Зондовые нанотехнологии в электронике / В.К. Неволин. – М.: Техносфера, 2005. – 147 с.
Доступно в библиотеке:
9
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине «Физика низкоразмерных структур»: к самостоятельной работе / М.М. Симунин. Министерство образо-вания и науки Российской Федерации, Национальный исследовательский университет «МИЭТ» (М.). – М.: МИЭТ, 2011. – 128 с.
Доступно в библиотеке:
1
экземпляр
Дисциплины
Ионно-плазменные технологии изготовления микро- и наноструктур (ГПО 2)
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.4.2
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 3
Семестр: 5
Учебный план набора 2014 года
План в архиве