Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств
Профиль: Проектирование и технология электронно-вычислительных средств, очная форма обучения, КИБЭВС
Учебный план набора 2013 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие / Т.И. Данилина, В.А. Кагадей, Е.В. Анищенко. – 2-е изд. – Томск: Томск. гос. ун-т систем упр. и радиоэлектроники, 2015. – 319 с.
Доступно в библиотеке:
30
экземпляров
Дополнительная литература
Технология СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Микроэлектроника: Физические и технологические основы, надежность: Учебное пособие для вузов / И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь, Ю. И. Горбунов. - 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Высшая школа, 1986. - 464 с.
Доступно в библиотеке:
54
экземляра
Технология микроэлектронных устройств: Справочник / З. Ю. Готра. - М.: Радио и связь, 1991. - 528 с. - ISBN 5-256-00699-1.
Доступно в библиотеке:
45
экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии: Учебное пособие / К.И.Смирнова. – Томск: ТУСУР, 2007. – 180 с.
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Учебно-методическое пособие
Данилина Т.И., Сахаров Ю.В. Технология тонкопленочных микросхем : Методические указания по выполнению лабораторных работ. – Томск: ТУСУР, 2007. – 63 с.
Доступно в библиотеке:
30
экземпляров
Процессы микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 53 с.
Доступно в библиотеке:
47
экземпляров
Технология тонкопленочных микросхем : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 73 с
Доступно в библиотеке:
50
экземпляров
Дисциплины
Технология производства интегральных микросхем
Направление подготовки (специальность): 11.03.03 Конструирование и технология электронных средств
Профиль: Проектирование и технология электронно-вычислительных средств
Индекс дисциплины: Б1.В.ОД.12
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 3
Семестр: 5
Учебный план набора 2013 года
План в архиве