Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике, очная форма обучения, ФЭ
Учебный план набора 2013 года (План в архиве)
Кафедра физической электроники
Основная литература
Технология СБИС: учебное пособие / Т.И.Данилина, В.А.Кагадей , Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с.
Доступно в библиотеке:
51
экземпляр
Дополнительная литература
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч. / Под ред. Ю.А. Чаплыгина. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. / Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М.А.Королев, Т.Ю.Крупкина, М.А.Ревелева. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 397 с.
Доступно в библиотеке:
10
экземпляров
Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов: учебное пособие / Г.Я. Красников. – М.: Техносфера, 2011. – 800 с.
Доступно в библиотеке:
2
экземляра
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч. / Под ред. Ю.А. Чаплыгина. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. / Ч. 2: Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования / М.А.Королев [и др.]. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2012. – 423 с.
Доступно в библиотеке:
35
экземпляров
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Технология СБИС
Направление подготовки (специальность): 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника
Профиль: Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике
Индекс дисциплины: Б1.В.ДВ.8.2
Форма обучения: очная
Факультет: ФЭТ
Кафедра: ФЭ
Курс: 4
Семестр: 8
Учебный план набора 2013 года
План в архиве