Рабочая программа учебной дисциплины
Направление подготовки: 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика
Профиль: Интегральная фотоника и оптоэлектроника, очная форма обучения, ПИШ
Учебный план набора 2023 года (индивидуальный учебный план)
Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева
Основная литература
Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке:
99
экземпляров
Дополнительная литература
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - 252 с.
Доступно в библиотеке:
42
экземляра
Учебно-методическое пособие
Дисциплины
Технологии ФИС
Направление подготовки (специальность): 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика
Профиль: Интегральная фотоника и оптоэлектроника
Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.01.05
Форма обучения: очная
Факультет: ПИШ
Кафедра: ПИШ
Курс: 2
Семестр: 3
Учебный план набора 2023 года