Сайты ТУСУРа

Технологии ФИС, 2024

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика

Профиль: Интегральная фотоника и оптоэлектроника, очная форма обучения, ПИШ

Учебный план набора 2023 года (индивидуальный учебный план)

Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева


Год издания: 2024

Основная литература

Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с.
Доступно в библиотеке: 99 экземпляров

Дополнительная литература

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - 252 с.
Доступно в библиотеке: 42 экземляра

Учебно-методическое пособие


Дисциплины

+

Технологии ФИС

Направление подготовки (специальность): 12.04.03 Фотоника и оптоинформатика

Профиль: Интегральная фотоника и оптоэлектроника

Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.01.05

Форма обучения: очная

Факультет: ПИШ

Кафедра: ПИШ

Курс: 2

Семестр: 3

Учебный план набора 2023 года