Сайты ТУСУРа
Научно-образовательный портал ТУСУР
☰

Физика и технология эпитаксии, вакуумных и плазменных методов, 2024

Рабочая программа учебной дисциплины

Направление подготовки: 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника, очная форма обучения, ПИШ

Учебный план набора 2023 года (индивидуальный учебный план)

Передовая инженерная школа "Электронное приборостроение и системы связи" им. А.В. Кобзева

Авторы:   Кулинич И. В. и Максуль И. О.
Год издания: 2024

Основная литература

Васильев, В. Ю. Современное производство изделий микроэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. — Новосибирск : НГТУ, 2019. — 88 с.

Дополнительная литература

Васильев, В. Ю. Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники : учебное пособие / В. Ю. Васильев. — Новосибирск : НГТУ, 2019. — 107 с.

Учебно-методическое пособие

Организация самостоятельной работы: Учебно-методическое пособие / Ноздреватых Д. О., Ноздреватых Б. Ф. — 2018. 23 с.

Физические основы вакуумной и плазменной электроники: Учебно-методическое пособие / Юшков Ю. Г., Бурачевский Ю. А., Климов А. С., Медовник А. В., Окс Е. М. — 2019. 188 с.

Дисциплины

+

Физика и технология эпитаксии, вакуумных и плазменных методов

Направление подготовки (специальность): 11.04.04 Электроника и наноэлектроника

Профиль: Электроника, наноэлектроника и микросистемная техника

Индекс дисциплины: Б1.В.01.ДВ.01.08

Форма обучения: очная

Факультет: ПИШ

Кафедра: ПИШ

Курс: 2

Семестр: 3

Учебный план набора 2023 года

Научно-образовательный портал ТУСУРа

При полном или частичном использовании текстовых и графических материалов с сайта edu.tusur.ru активная ссылка на сайт ТУСУРа обязательна.

Интересующие вас вопросы можно задать в личном кабинете

Задать вопрос